扫描电镜元素映射(12)

发布时间： 2018-03-14

图 7 HAADF 像原理示意图

图 7 所示为高角度环形暗场（ HAADF）像的原理图。按照 Pennycook 等人的理论，若环形探测器的中心孔足够大，散射角间的环状区域中散射电子的散射截面σ可以用卢瑟福散射公式在环形探测器上直接积分得到：