扫描电镜元素映射(2)

发布时间： 2018-03-14

特征 X 射线是从试样 0.5~5μm深处发出的，它的波长与原子序数之间满足莫塞莱定律：

不同的波长λ对应于不同的原子序数Z。根据这个特征能量，
即可知所分析的区域存在什么元素及各元素的含量。根据扫描的方式， EDS 可分为点分析、线扫描及面扫描三种：EDS
点分析是将电子束固定于样品中某一点上，进行定性或者定量的分析。 该方法准确性较高，用于显微结构的成分分析。
定量分析样品中含量较低的元素时，常用点分析的方法。 图 2 所示为陶瓷样品的 EDS 点分析结果。