扫描电镜元素映射(7)

发布时间： 2018-03-14

在
EELS 谱图中，
除了几个电子伏特的化学位移，同一种元素的电离损失峰的能量坐标总是近似相同的，因此，通过标定电离损失峰的能量坐标，即可定性地分析样品所含的元素。然后通过测量元素的电离损失峰曲线下扣除背底后的面积，即该元素的电离损失峰的总强度IK
，可对该元素的含量进行定量分析。当样品很薄时，IK 可以近似地表示为：

式中， NK为样品单位面积上K元素的原子数，σK为K元素的总散射截面，I为总的透射电流强度，于是有：