扫描电镜元素映射(3)

发布时间： 2018-03-14

图 2 陶瓷样品的 EDS 点分析结果

EDS 线扫描分析是电子束沿一条线对样品进行扫描，能得到元素含量变化的线分布曲线。结合样品形貌像对照分析， 能直观获得元素在不同区域的分布情况，如图 3 中，通过线扫描可以清楚地看出 CdS 和有机物含量沿异质结分布的情况。